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还原炉咋还能出来一氯三氢硅?

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发表于 2011-1-19 23:22:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉咋还能出来一氯三氢硅?
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发表于 2011-1-20 08:59:24 | 显示全部楼层
这个是正常的,只是量少而已,由于在还原炉内局部氢气过高,可能产生。产生后也可以被消耗掉。
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发表于 2011-1-20 09:39:42 | 显示全部楼层
你有做样分析吗?确定是那种物质!
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发表于 2011-1-27 10:01:22 | 显示全部楼层
这个物质很不稳定,能测到吗?
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发表于 2011-1-27 17:13:39 | 显示全部楼层
有的,就是量很少。
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