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为什么会喷料

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发表于 2010-11-3 13:27:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
前期喷料
有些还原炉由于长时间不开,再次启动进料后
会液体,说是喷料(看电压会大幅震动,液体汽化使硅芯表面降温)
这是的喷料在硅芯上看不出什么来
后期喷料
还原炉在生长到中后期,有时硅棒上会突然大量的出现梅花状的物体,好多很恶心
如果及时停炉,这些东西可以用手擦掉(黑色)
这是什么原因造成的
还原炉在生长到中后期有时炉内会有一些絮状物(黑白都有)
请问这些是什么
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发表于 2011-1-25 18:33:15 | 显示全部楼层
原料液化。进气管道长,保温效果不好;三氯氢硅配比大。
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发表于 2011-1-28 22:06:34 | 显示全部楼层
液化的三氯氢硅料,管路温度要高于挥发器设置的混合气温度
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发表于 2011-1-29 10:45:44 | 显示全部楼层
白色的可不可能是二氧化硅,黑色的可能是过程中氮化,形成氮化硅。期待高手解答
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发表于 2011-1-30 14:11:31 | 显示全部楼层
如果个别炉子出现这种情况
可能有水漏进去了
喷料是由于你们没有做好保温工作,喷料也就发生在开始阶段
如果长期这种情况就是设计问题了
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