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关于还原炉硅棒顶端出现爆米花现象,还有对地漏电现象

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发表于 2011-2-19 17:38:16 | 显示全部楼层 |阅读模式
我们公司最近出产的硅棒,顶端经常出现爆米花现象。还有就是经常对地漏电,百思不得其解 想请教一下各位川友   是什么原因?    在此先谢谢大家了!
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发表于 2011-2-19 18:14:56 | 显示全部楼层
看看是否和绝缘的石墨夹头材料有关。爆米花和沉积速率有关系,看看通电的电流情况呢
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