硅粉的产生硅粉产生的原因有哪些？产生硅粉的化学反应方程是什么啊？谢谢。

本帖最后由 jindin312 于 2011-2-24 20:51 编辑
请问各位专业人士，在还原炉生产过程中，硅粉产生的原因有哪些？产生硅粉的化学反应方程是什么啊？谢谢。

在还原炉中产生的硅粉，那是不定型硅，是在生过程中没有附着在硅芯上，这个与生长速度有关，速度快了，硅棒密值不好，温度低了，TCS有部分直接裂解，产生不定型硅。

DCS多了也会产生硅粉，不知各位坛友有没有同感。

是的会产生不少呢

是的会产生不少呢

DCS多了也会产生硅粉，不知各位坛友有没有同感。
yuanrs 发表于 2011-2-24 18:45

                                
登录/注册后可看大图
    说得很正确。DCS在一定的比例内是有助于硅沉积。