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钟罩清洗介质

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发表于 2010-2-9 09:44:24 | 显示全部楼层

还原炉钟罩清洗问题:
(1)如果选择NaOH作为清洗介质,清洗介质的操作压力应为多少?温度?
(2)除了采用NaOH作为清洗介质,是否可以采用NH4HF作为清洗介质?据说国内有多晶硅企业用饱和的氟化氢铵溶液清洗还原炉钟罩,效果不错。
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