硅块清洗后表面有斑的问题（附图）

发表于 2011-4-4 14:25:46

是不是酸洗的时候时间久了造成的噢？
可以试一下减少酸洗的时间.

发表于 2011-4-4 19:20:57

你们用70%的硝酸和47%的氢氟酸估计不行吧！我们都用MOS级的酸，效果好多了，斑点很小的

发表于 2011-4-5 13:56:07

我们还是遇见过这样情况，就是酸没有用超纯水清洗干净，残留在表面，在有酸的地方被氧化。只要清洗干净就会解决问题的。

发表于 2011-4-5 14:52:34

算质量是否合格，自动供酸没掌握好酸配比，算残留了

发表于 2011-4-13 16:40:17

表面氧化的可能性比较大，减少氢氟酸配比，加强超声时间或者功率，试试！

发表于 2011-4-14 02:25:34

从硅棒表面的情况来看,一是可能配比有问题,反应速度过快,二是可能多次频繁使用该酸时,温度升高导致反应速度过快

发表于 2011-4-14 10:06:11

密切关注中，多晶硅好不容易搞出来在最后出现这种情况蛮伤神的，试试用纯水洗洗。

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