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多晶硅精馏和三氯氢硅精馏

发表于 2011-5-11 22:35:25 | 显示全部楼层

一般而言，精馏之后的 TCS 不用几个9来表示，主要是分析里面的杂质含量，如 B、P等；而真正的三氯氢硅浓度往往都低于99%。。。还有其它氯硅烷

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