PSA制氮机能用在多晶硅制造过程中吗？

发表于 2010-11-15 10:11:37

上周听一位老板说，他们在内蒙古的多晶硅工厂使用PSA制氮机生产氮气，用作保护气。一般的说法，多晶硅的氮份保护需要的纯度很高，PSA可以吗？

发表于 2010-11-16 09:08:54

怎么不能？PSA出来的粗氮气再加氢气把剩余的氧脱除就行了

发表于 2010-11-16 21:02:48

辅助工艺线上就用PSA粗氮。

发表于 2010-11-22 11:52:21

可以，完全可以！可以做硅粉的气力输送动力。

发表于 2010-11-22 12:08:52

完全可以，，，我们厂就有，用它来输送硅粉。。

发表于 2010-12-12 13:25:29

用99.99%的制氮机就可以满足要求

发表于 2010-12-12 13:27:09

99.5%的制氮机是会影响工艺的

发表于 2010-12-12 19:07:56

PSA法是可以的，不过要增加后续的处理机构，比如分子筛之类的，相对于深冷法法的能耗及成本关系，可能根据生成量不同，会出现明显的优劣差别。一般来说，由于多晶硅生产过程中，只要能瞒足含氧量和含水量标准。至于何种方式其实无所谓

发表于 2011-5-12 13:27:19

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朋友是哪个单位的，交流下技术。QQ：1812287119

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