多晶硅表面黑色

发表于 2011-6-12 10:45:02

其实很简单　就是氮化硅，一般主要反映在停炉的时候出现　２００８年刚投产的时候我遇见过，改善停炉条件即可．　楼主　请求加分

发表于 2011-6-12 10:27:39

我厂最近生产出来的多晶硅棒在某一炉表面是黑色的，还有一炉是呈现出墨绿色，黄褐色的，请教各位这是什么原因，照理说如果是三氯氢硅的来料不行的话，整个炉子的硅棒都是这样的啊，实在不解，谢谢！

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