请教各位领导 多晶硅里面 精馏提纯 需要测可燃或有毒气体吗

工艺物料有三氯氢硅 四氯氢硅 等 要设置可燃或有毒气体检测器吗

这个真的有。并且需要测量的点还有点多了。

有的，我在云南曲靖的多晶硅项目上就见到，H2，HCL，CL2！

这个是有必要设置的，工艺物料三氯氢硅沸点只有31.5度，泄漏到空气中本身就是可燃易挥发的有毒气体，要是泄漏的话会与空气中的水份反应生成氯化氢和氢气，这两种是什么样子的东西，就不必说了吧。
四氯化硅虽然不燃，但是沸点也比较低，57.6度，也是有毒物质，与空气反应会生成氯化氢
在有些公司在精馏这块还会用到氢气
总之，个人认为，在精馏这块设置可燃有毒气体检测仪还是很有必要的，若是没有氯硅烷检测装置的话，用氯化氢和氢气检测装置也是可以的