多晶硅装置中的碳化钨阀门与金刚石阀门的性能对比

名称
硅粉
国产碳化钨
系列阀门
进口碳化钨系列阀门
金刚石
系列阀门
硬度
HRC65~68
HRC65~70
HRC68~72
HRC76~78
温度
有部份工况
达到520℃
400℃
450℃
600~650℃
喷涂设备单价
30万元人民币
500万元人民币
每平方米喷涂费用
3万元平方米
26万平方米
每平米喷涂完精加工费用
2万元平方米
8万元平方米