硅棒上黑点

硅棒在生长的过程中，表面会突然大面积出现黑点，是液态料造成的，还是有脏东西？

这个是雾化造成的 产生的无定形硅沉积到硅棒上去了 停炉吧 要不停就是产生夹层

我认为不是以上原因，是因为被氮化了。

N化为黄色或浅黄，突然、大量的话 应该是脏东西进去了。
如果仅仅是温度控制低了导致不定形硅的话，这个过程是很漫长的

如果突然进液了，这个过程也很快的

回复 5# oscar~
    同意，估计是混合料没有完全气化啊

个人认为应该是混合料中三氯氢硅瞬间减少或者是底盘硅粉过多。