磷检炉、硼检炉

发表于 2011-7-23 08:39:54

磷检炉、硼检炉是干嘛用的，他们是用于工艺的哪个阶段？他们用于分析多晶硅产品的吗？

发表于 2011-7-23 08:53:31

1、磷检炉是采用刚性上下轴之间的同时运动，在惰性气体氩气保护环境下，用高频电源对多晶硅加热熔化，用区熔法生长成品棒的设备。
2、硼检炉是采用刚性上下轴之间的同时运动，在高真空环境下，用高频电源对多晶硅加热熔化，用区熔法生长成品棒的设备。

发表于 2011-7-23 11:36:18

还不是很清楚

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册