多晶硅精馏塔开车前如何清洗？

多晶硅精馏塔开车前如何清洗？有什么比较好的方案吗？我们准备用四氯化硅清洗，但是比较担心最后两级塔在清洗过程中会引入杂质，求高人指教！

我们的精馏塔在开车初始也是用四氯化硅洗的，或多或少带进去一点杂质是肯定的，刚开车塔顶塔釜 的除轻除重以及除杂，需要点时间。
我们当时是开塔的第三天，才取样合格，之后就没什么事了