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也许具有革命性的多晶硅生产工艺

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发表于 2011-7-30 00:19:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
也许具有革命性的多晶硅生产工艺---三氯氢硅和四氯化硅混合生长颗粒多晶硅,已取得阶段性试验成果

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发表于 2011-7-30 07:52:53 | 显示全部楼层
谢谢分享,想知道楼主是哪个公司的
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 楼主| 发表于 2011-7-30 08:07:57 | 显示全部楼层
回复楼上兄弟,讨论技术,不涉及个人信息,可以私聊
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发表于 2011-7-30 08:24:41 | 显示全部楼层
回复 1# zhangweicheng
    嗯嗯,这个方法我也听说了,有些原料直接用三氯氢硅和氢气、四氯化硅和氢气(个人认为有硅晶粒做沉积载体,四氯化硅转化率比棒状沉积大大提高)、三氯氢硅和四氯化硅氢气。
也有专利说先把氢气或者部分原料等离子化,反应的速率和转化率都很高,只是难以形成大规模。
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发表于 2011-7-30 08:55:36 | 显示全部楼层
理论阶段还是已经试验过了?
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发表于 2011-7-30 11:38:04 | 显示全部楼层
这个跟朋友闲聊的时候讨论过,国内貌似在内蒙。
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发表于 2011-8-1 09:26:02 | 显示全部楼层
就是籽粒混合硅烷流化床还原法,产生籽粒很小,不易控制,但是比CVD还原节约电能。
国外公司在很久就做过实验性生产,发生重大事故,就没有发展了,好像是日本吧。
中国有几家在实验,祝贺他们吧。
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 楼主| 发表于 2011-8-1 14:05:40 | 显示全部楼层
回复 11# king70868
    兄弟,原料是三氯氢硅+四氯化硅,不是硅烷
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