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多晶硅生产中硅胶主要成分是什么

发表于 2011-8-16 10:27:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

多晶硅还原后的尾气进入缓冲罐，气体变成黄色的固体，里面的物质主要有哪些成分呢？

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发表于 2011-8-16 19:24:14 | 显示全部楼层

氯硅烷，氯化氢，氢气，就这么多啊。。还有其他杂质站百分之0。2

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