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关于硅烷法,有没有海友可以共享点信息或资料的?谢谢~~

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发表于 2011-1-5 17:13:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
RT,无论项目上马或意向等信息,或者技术资料皆可,谢谢~~
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发表于 2011-5-20 14:54:47 | 显示全部楼层
可以交流一下所掌握的硅烷法生产多晶硅资料  412590517
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发表于 2011-8-19 08:10:25 | 显示全部楼层
有生产硅烷的工艺资料
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发表于 2011-8-19 08:51:47 | 显示全部楼层
我想了解硅烷法的产多晶硅的反应钟罩和西门子法的钟罩有啥区别?
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发表于 2011-8-19 11:47:28 | 显示全部楼层
回复 1# 哈达ZH
请联系我,qq:345310666
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发表于 2011-8-21 12:52:15 | 显示全部楼层
硅烷法目前不是主流了,不过此工艺也有好几种;
1,有冰晶石法。
2、还有氟化氢法。
3、还有歧化反应发。
4、还有和冶金相似的方法。
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