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关于还原炉OGL 的一些问题

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发表于 2011-8-26 15:27:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
大虾们,我们公司 最近总是出现硅棒生长后期 尾气温度 波动过大  造成停炉?  请问是什么原因?
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发表于 2011-8-27 16:00:07 | 显示全部楼层
回复 1# king拼搏
    物料量(包括进和出)和加热功率控制的不稳定,没达到平衡,造成发散性波动(波动扩大),我的见解不知道对否,多交流讨论
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