多晶硅生长模拟软件Polysim谁用过，效果如何？

这个软件要是真的能够模拟硅棒变化情况的话，对多晶硅的发展将有十分重要的意义，就是不知道哪个坛友用过，我也是做模拟的，最近刚接触到这方面的问题，希望给提供些下载地址。

这个软件真有那么好吗？不知道在实际生产中效果怎么样？三氯氢硅，氢气混合气的量好控制，但是硅棒电流是怎么样来控制的，受外电压波动有影响吗？还原炉内的温度又是通过什么来测量的？

我过几天可以接触到 到时再汇报!

STR 毛子的软件，进气模式需自行设定。国内有几家在试用。

不是用 Aspen 模拟的么？

嗯，在下不才，用了几天

不是做广告，但倒认识国内推广这个软件的老师，姓右。
软件怎么说呢？还行，因为用的是试用版，没有三维的，所以没法感受还原炉内流场、温度场的计算的效果。
但从数据库来说，据右老师讲，国内如中×，峨×（据说大化工写全名全扣掉不少分

）等与实际符合的较好，当然有点黄婆瓜瓜的意思在里头了。我自己用了吧，趋势差不多，但比实际的要high的多。比如H2/TCS/current啥的。据说数据库是按德国人的生产数据做的。
为什么大化工没有个性签名，我想写个酷酷的

。

为什么那么相信这种模拟软件，我想不会那么正确。

听说这个软件很强大，对于理论研究很有用，对实际生产的帮助不是很大。生产时条件改变不大，模拟出来的结果没什么变化。

其实就是ansys，fluent等软件的集成，其实fluent 自身也有气相沉积模型，虽然不如polysim介绍的那么简单易操作。

希望有空能接触到。