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还原炉进气和尾气的温度

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发表于 2011-8-31 10:26:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉进气为三氯氢硅和氢气,温度大概为130度,尾气预热进气以后排出的温度是多少啊?
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发表于 2011-8-31 11:02:20 | 显示全部楼层
回复 2# oceans998
    这么说吧,我想知道排出尾气进入下一工序的温度,大致数值就行,即尾气出还原炉系统的温度,因为要根据尾气温度来确定冷却水的用量。
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