硅芯清洗要求

从理论来说，硅芯清洗一般硝酸：氢氟酸=5：1，反应机理为硝酸氧化后得二氧化硅，然后用氢氟酸溶解，当然两者互相催化的。如果硝酸过量，洗完后会不会表面产生一层氧化物，对还原炉沉积硅有影响？讨论一下！

个人认为有，如果过量硅芯表面肯定还有斑点。