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讨论还原炉硅芯料电阻率低的原因

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发表于 2011-8-15 10:50:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
讨论还原炉硅芯料电阻率低的原因
我们公司的硅芯电阻率经常在10以下,请各位高手畅谈畅谈语言。
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发表于 2011-8-15 16:25:32 | 显示全部楼层
是N型还是P型?电阻率主要于B含量有关,建议检测一下三氯氢硅杂质B含量
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 楼主| 发表于 2011-8-15 17:21:38 | 显示全部楼层
回复 2# cjzhx123
    现在全部是N型,原来有P型的时候电阻率较高
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发表于 2011-9-16 12:16:19 | 显示全部楼层
我们这边也出现过这种情况,用得也是N型的较多。因为硅芯是一批次一批次的,这种情况过一段时间久好了。基本上只对启炉的时候有点影响,到中后期了没什么不一样的
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