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还原炉启炉后地盘很脏的问题

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发表于 2011-9-27 16:21:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大侠好!共同讨论一下:我们公司还原炉启炉地盘都很脏,我发现只要硅棒直径不超过110mm,启炉后地盘都比较干净,而再超过此直径启炉后地盘都很脏!是不是由于硅棒直径超过110mm后炉内空间减小,在不减量的情况下,导致炉内气流流动过快,使得硅的沉积不稳所致!望各位大侠参与探讨!
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发表于 2011-9-27 23:55:46 | 显示全部楼层
可能是由于雾化导致的硅粉沉积,适当调大配比应该有作用吧
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