三氯氢硅与四氯化硅混合使用

发表于 2011-4-4 10:14:32

生产多晶硅现在大部分都是三氯氢硅法，听说有将四氯化硅和三氯氢硅混合后，一起进还原炉生产。这样做可以但可能增加成本，
有没有人知道这样生产方式，大家讨论一下！

发表于 2011-9-8 11:52:30

以前听行业内的老前辈讲过，四氯化硅加氢气确实可以反应得到多晶硅棒，但是还原炉内的操作温度要比使用三氯氢硅更高。大约高150度-250度左右。并且四氯化硅的沉积速率比较低，还原炉的生产周期较长。
如果将三氯氢硅和四氯化硅混合进料，能耗肯定会比直接进料三氯氢硅能耗高。但是凡事都有弊有利，如果直接使用三氯氢硅进料生产多晶硅棒，副产的四氯化硅还需要配套氢化工艺（冷氢化、热氢化）将四氯化硅转化为三氯氢硅，其实也是在额外消耗能量。因此，个人觉得上述混合进料方式是否可行，主要还是要看能否找到合适的混合比例、还原炉操作温度、压力等最优化的工艺，然后算笔经济账，最后确定。

发表于 2011-9-15 14:27:31

根据文献资料早期的多晶硅生产用得就是四氯化硅和氢气混合，好像能耗比较高。
如果混合可以那干嘛还用干法回收和氢化，直接把还原炉出来的尾气再继续通入另外的炉子不就可以了
把炉子串联起来用，增加单位氯硅烷与硅棒的接触时间提高一次转化率

发表于 2011-9-15 16:24:25

可以的，但是能耗如何确实也没有见过具体的数据，不过会有其他负面影响

发表于 2011-9-15 23:29:05

三氯氢硅和四氯化硅混合进料，主要目的是抑制了炉内三氯氢硅转化成四氯化硅的副反应，找到合适的配比，操作温度和压力，是可行的。已经有这样做的了。

发表于 2011-9-16 11:24:29

三氯氢硅和四氯化硅混合完全可以使用
但是不能用在钟罩式的上。
三氯氢硅和四氯化硅的还原反应都是可逆反应，存在反应平衡，里面的反应产物氯化氢和四氯化硅越多，逆反应就越强烈！最终只会是增加电耗、能耗
要利用这个混合气体，除非是用流化床法，一次转化率相当的高，完全没问题！期待国内的流化床……

发表于 2011-9-30 18:07:52

回复 6# ymlgx
用流化床硅沉积在什么地方？

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