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三氯氢硅原料碳含量检测方法

发表于 2010-7-24 12:13:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

三氯氢硅原料碳含量检测方法

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发表于 2011-9-28 16:26:11 | 显示全部楼层

用GC_MS可以测......

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发表于 2011-10-11 00:47:48 | 显示全部楼层

一般用GC-MS仪器检测。。
不过也可以用ICP-MS检测啊，跟硅粉检测一样，不过前期处理有点学问。

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发表于 2011-10-11 08:43:18 | 显示全部楼层

国家有色金属院能够检测，我们以前做过，你可以问一下有色金属院

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