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各位朋友大家谈谈多晶硅还原炉内的副反应!

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发表于 2011-10-14 22:10:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位朋友大家谈谈多晶硅还原炉内的副反应!尤其是硼和磷
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发表于 2011-10-15 12:56:14 | 显示全部楼层
你这讨论的有点细了,大家一般都重点关心SiHCl3转化时的副反应吧,生成各种产物的比例什么的,还有SiHCl3转化率什么的,还原炉里面考虑P和B是不是有点太早了,要做电池的话后面不是还有步骤吗?不过P和B确实还搞不清楚,期待懂得的朋友详解。
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发表于 2011-10-16 15:39:04 | 显示全部楼层
只能说反应太多了
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 楼主| 发表于 2011-10-17 14:46:47 | 显示全部楼层
大家不要在这光说空话,谈谈自己的高见呗
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