还原炉中产生硅粉

发表于 2011-3-18 12:52:39

如题所说，还原炉中产生大量硅粉是什么原因，是到生长后期进料量大还是在停炉时候未能停好，希望各位大虾讨论下1

发表于 2011-3-18 13:17:27

主要是通料量大和氢气和三氯氢硅的比例不合适造成的

发表于 2011-3-18 15:16:31

这个问题是这样造成的，1、首先要控制好TCS和氢气的比例。
2、是控制好还原的温度，温度过高和过低都不行，要在一定的范围（不说了），还原炉中的黑色粉末那叫不定型硅，还原炉在开始升温和停炉降温时，温度小样800度时，TCS裂解产生的不定型硅。

发表于 2011-3-20 22:05:31

谢谢！学习啦！以前不知道是什么原因造成的！

发表于 2011-3-21 17:48:44

这个主要是配比太小了，产生雾化，产出硅粉。
1，把氢气提大些
2，把温度控制适中

发表于 2011-3-21 18:12:51

这个问题是这样造成的，1、首先要控制好TCS和氢气的比例。
2、是控制好还原的温度，温度过高和过低都不行， ...
luoye888 发表于 2011-3-18 15:16

登录/注册后可看大图
同意楼主说的，还有就是断料过快，残余的料没有完全反应

发表于 2011-3-18 15:16:00

应该是出现雾化了产生了无定形硅！！

发表于 2011-4-24 09:25:50

回复 1# jarry0831
停炉的时候，H2太少，里面的TCS还没反应完全，电流不要降那么快。

发表于 2011-4-24 10:05:19

就是三氯氢硅在较低温度下，生成的无定形硅

发表于 2011-4-24 20:16:48

还原产生的硅粉带到尾气回收后，对压缩机有影响吗？怎么处理这些硅粉？

账号		自动登录	找回密码
密码			立即注册