关于进料的温度问题

发表于 2011-11-3 18:12:32

多晶硅的进料温度对于降低能耗有多大影响。

发表于 2011-11-6 12:17:22

回复 2# yizhuxuan
进料温度其实对降低电耗影响很低，在多晶硅反应前期，温度可适当搞定，较大进料量提高沉积速度，对降低电耗有一定好处

发表于 2011-11-5 23:09:15

多晶硅的进料温度对于降低能耗有多大影响。
hero123gaoli 发表于 2011-11-3 18:12

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