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看到大家对多晶硅知识的热爱,特推荐以下书籍

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发表于 2011-10-7 13:48:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
看到大家对多晶硅知识的热爱,特推荐以下书籍:
1、《电子工业生产技术手册(6)半导体与集成电路卷》
2、《多晶硅工艺学》
3、《精馏操作知识问答》
4、《Тетрахлорсилан трихлорсилан》
5、《металургия поликристаллического кремния высокой чистоты》
前三个论坛有,后两个是俄文原版,希望有的朋友能够上传。我的是照片,太大了。大家还可以看看电子工业生产技术手册7、8卷。同时希望从事多晶硅研究、生产的朋友能够多多共享知识、共同提高。我一直在考虑多晶硅生产过程中氯硅烷废液的处理方式和多晶硅中B\P含量、电阻率、少子寿命控制方面的问题。即如何解决目前用石灰乳处理氯硅烷废液中易燃、易爆和堵塞的问题;如何能让多晶硅中B、P配比在多晶硅生产时就能随心所欲,有效解决多晶硅中除P、除B的问题。电阻率在B、P配比上是否有临界值等问题,希望给位路过的朋友多多指点迷津,不胜感谢!
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发表于 2011-10-8 17:30:30 | 显示全部楼层
请楼主能否将资料共享下,发我邮箱hhr115113@163.com
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 楼主| 发表于 2011-10-12 20:53:49 | 显示全部楼层
《电子工业生产技术手册(6)半导体与集成电路卷》
https://bbs.hcbbs.com/viewthread. ... C%CA%F5%CA%D6%B2%E1
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发表于 2011-11-13 15:11:53 | 显示全部楼层
成本低的大厂日子不好,成本高的小厂估计得关门了....
以后的价格将跌到150元/KG以下...
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发表于 2011-11-15 11:13:32 | 显示全部楼层


求学于大化工之内
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