双塔轮换制氮和深冷制氮对比

在多晶硅生产工艺中常用的保护气体--氮气，其生产工艺根据其生产成本、产品质量以及系统的稳定性是双塔轮换制氮好还是深冷制氮好一些？请大家踊跃发言，我给奖励。哈哈！！

双塔轮换制氮？你说的是PSA制氮吧，PSA达不到这种纯度的，能达到5个9以上的纯度投资也会大幅上升，所以一般会采用深冷法，但是流程就有很多选择了

碳分子筛变压吸附制氮纯度低，产品纯度在95%~99.99%，有多晶硅厂再用
深冷制氮纯度高，≥99.9997%，从常温到出合格产品要12小时+

深冷制氮运行比其它办法运行要平稳得多，纯度也要高得多，不好的地方就是开车到达到合格纯度的氮气的时间比较长，一般都要十二个小时以上，而且检修特别麻烦，如果是深冷塔里出问题，检修至少都得三五天，甚至更长时间。