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SICL4为什么会生成那么多?

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发表于 2011-10-31 09:37:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问哪位高手知道TCS进CVD反应炉反应后产生的SICL4国内的要比国外产生的多几倍,什么原因?
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发表于 2011-11-17 17:32:21 | 显示全部楼层
1.首先,这个问题你应该调整一下提问方向,因为现在考虑的都是四氯化硅的转化率,你为何不问国内的还原转化率比国外的低呢。
2.其次,氢气的进气比会影响四氯化硅出口含量。
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发表于 2011-11-30 22:58:33 | 显示全部楼层
版主能否讲的在明确一些,氢气流量大,就是配比大了,四氯化硅是增加了还是减少了,和温度没有关系吗
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发表于 2011-12-1 09:47:55 | 显示全部楼层
版主能否讲的在明确一些,氢气流量大,就是配比大了,四氯化硅是增加了还是减少了,和温度没有关系吗
清冷紫玉 发表于 2011-11-30 22:58

                                
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温度,压力,摩尔比,甚至是三氯氢硅的杂质含量都会影响还原反应的进行,进而影响到三氯氢硅的转化率,从而影响四氯化硅的收率。
我前面只是稍微提了一点,你考虑的思路很正确。
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