多晶硅生产中碳含量偏高,是什么原因？

发表于 2011-12-3 11:45:57

请教各位朋友：多晶硅生产中碳含量偏高,主要是什么原因？

发表于 2011-12-3 12:08:06

请教各位朋友：多晶硅生产中碳含量偏高,主要是什么原因？
abcsxg 发表于 2011-12-3 11:45

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在热氢化工艺生产过程中，多晶硅中的碳有哪些因素引起

三氯氢硅中的碳含量

发表于 2011-12-3 11:45:00

了解一下,哪几个环节可能会带来碳的杂质,那就在那个环节去除;如果是不可避免的带入,就要想办法了,反正总会有办法,这里不好明说!

发表于 2011-12-3 15:01:26

一、使用的管道和设备材质造成的，
二、氢化还原时导电用的石墨件表面的气化，
三、活性塔粉的混入，
四、使用的氢气中含有了C元素……

发表于 2011-12-4 22:19:45

楼上正解！支持下！

发表于 2011-12-5 08:24:42

是在那块比较多，是精馏出的产品还是氢化产品，还是。。。

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