在热氢化工艺生产过程中，多晶硅中的碳有哪些因素引起

发表于 2011-11-20 15:02:26

我首先提两点：1、电解氢后的氢气中夹带的甲烷、一氧化碳等
                  2、还原炉的石墨卡瓣可能引入
                  3、氢化炉的石墨管也可能
                  4、CDI的吸附塔活性炭可能污染
其他的原因希望各位坛友踊跃参与

发表于 2011-11-20 15:50:58

我首先提两点：1、电解氢后的氢气中夹带的甲烷、一氧化碳等
2、还原炉的石墨卡瓣可能 ...
虔诚的信徒发表于 2011-11-20 15:02

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热氢化用的是碳棒，碳棒及其他石墨件是造成碳污染的罪魁。

发表于 2011-11-20 15:02:00

表观性的影响大家都深有体会但是具体的影响机理和控制手段楼主可否单独探讨一下

发表于 2011-11-20 16:07:53

表观性的影响大家都深有体会但是具体的影响机理和控制手段楼主可否单独探讨一下
虔诚的信徒发表于 2011-11-20 16:07

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热氢化技术现在讨论的人已经很少了。碳在热氢化转化炉中易与四氯化硅反应生成碳化硅。至于控制手段，关键还是要在碳棒以及其他石墨件的制作工艺上下工夫。

发表于 2011-11-20 17:47:47

热氢化中炉子用的是碳棒应该是这方面的情况

发表于 2011-11-20 16:07:00

热氢化如何将碳含量降低

发表于 2011-11-20 23:18:21

C-C发热体的高温煅烧很关键，很易产生碳杂质的

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