讨论多晶硅生产线B P变化趋势及原因

发表于 2011-11-18 14:42:20

回复 8# maxwell_112
能具体点合成和干法去 B或P比较多的原因嘛最好能提供点资料依据多谢

发表于 2011-11-19 23:55:20

回复 11# l4u
个人意见：
合成工序洗涤塔拍高可以排出P，干法工序气体可以带走B，提纯由于排高排低可以同时带走BP

发表于 2011-11-20 17:37:05

合成的预冷器带走高沸点的其中主要是P 吗？
回收气体带走B 不是很理解我们这里好像一般就做过氢气中的P ，能解释清楚你说的是氢气还是HCL吗？怎么确定带走了的？？？

发表于 2011-11-24 22:12:07

另外看到有人解释说控制合成中氯化反应后的简单分离的条件去除三氯氢硅的杂质不明白这句话的意思请高手详细讲述一下原理以及所谓的氯化

发表于 2011-11-24 23:53:20

求高手指点一下合成工段有什么装置能除掉B P，还有关于尾气气相中也带有B和P吗，活性炭可以吸附吗

发表于 2011-11-26 23:17:23

回复 8# maxwell_112
请问一下，干法哪个装置或哪股物料去除了B？

发表于 2011-11-27 16:24:47

回复 16# yzhang2010
个人觉得气体会带走一部分B

发表于 2011-11-27 19:45:49

回复 17# maxwell_112
抱歉，不太明白。哪一部分气体？回收H2，吸附柱再生时反吹出的气体，还是哪里？

发表于 2011-11-27 20:41:46

再生氢会带走一部分

发表于 2011-11-27 22:19:34

其实当精馏塔提纯产品纯度达到一定程度后（B/P均为ppb级），想要在精馏上使多晶产品纯度再上一个台阶就很难了，投入会非常高。这个时候，QC控制比工艺上的优化效果更明显，也最简单

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