请教如何控制多晶硅n、p型

本帖最后由 xingxing916 于 2012-1-18 14:32 编辑
意思就是通过产品b、p值工艺如何调整保证产品中b、p大小

就是想宏观的了解那些方式调整和监控产品向n或p型控制

半导体的N、P型取决于掺杂元素，参磷时为N型，掺硼时为P型。N为negative,P为positive

我问的是具体工艺控制或者调整 例如正常工艺下通过产品得出p或者b高后的调整方向 及原因

你可以通过精馏提纯进行控制

精馏后期料的杂质分析检测巳无法准确分析 而且料中包括回收料混合 如何判断其符合要求

改良西门子法除硼容易还是磷 为什么？

我发现楼主对P、B杂质的去除一直没搞去除吧。
其实，生产中，只能大致上搞去除原理，你想从宏观具体到微观，去了解一点一滴，太花时间了，搞科研的也许科研。
P、B杂质各工段都有涉及，主要还要精馏段加以控制，由于B的存在形式以及物化性质，B在精馏段的除杂比P要困难一些。
本版对于P、B杂质的主题还是比较多的，你可以搜索一下，研究一下。

本人对质量控制小有心得，可惜没得用武之处，精馏阶段主要除B，除P容易些，后期主控制除P，至于为什么，不能告诉你。

控制好B\P的比例就能控制产品是P型还是N型，而且可以保证产品绝对是电子级以上。