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出炉时,发现硅芯很容易就从硅棒剥离的情况,是什么原因造成的?

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发表于 2012-2-20 12:41:04 | 显示全部楼层

情合赢 发表于 2011-4-1 14:58

                                
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大致有四个原因,一是硅芯被尾气污染了形成彩芯而脱芯,二是氮气氛围下温度偏高形成氮化层,三是空烧温度不 ...

氮化物温度要600度以上
高温氢气氛围下,氧化物能否被还原?
尾气漏,硅芯上有黄色物质,请问为何物?
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发表于 2011-4-1 14:58:00 | 显示全部楼层
彩芯不一定全是氧化,一般硅芯剥离表面的大部分是氮化硅,氮化硅厚度与颜色的关系基本和氧化层表面颜色相当
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