多晶硅尾气回收

发表于 2008-11-4 07:25:45

我做的一个多晶硅项目尾气回收用的是干法和湿法相结合的，尾气中含有的二氯化硅和三氯化硅是用通过湿法除去的，后面氢气净化是用的活性碳吸附！

发表于 2008-11-4 08:41:59

干法回收要先进一些！

发表于 2008-11-4 08:54:51

目前是不是比较多的采用CDI？能否请3楼的介绍一下CDI技术？

发表于 2008-11-13 10:38:07

你们有没有搞清楚什么是干法回收？什么是湿法回收哦、、、
雷死人了。。。。。
干法回收在三氯氢硅生产中才有，当然也有湿法回收。
所谓湿法回收就是用四氯化硅淋洗吸收四氯化硅、三氯氢硅，HCl从而将他们分离出来。
还有人所说的用水吸收回收。那根本就不能算回收，最多是三废处理而已，
水解四氯化硅、三氯氢硅只能在三氯氢硅生产中使用。。。
多晶硅生产你用水解法试试看。。。在目前多晶硅的竞争下，保你很快就破产。。。。

发表于 2009-2-14 16:10:09

原帖由 炸你象猪头 于 2009-2-14 16:10 发表

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你们有没有搞清楚什么是干法回收？什么是湿法回收哦、、、
雷死人了。。。。。
干法回收在三氯氢硅生产中才有，当然也有湿法回收。
所谓湿法回收就是用四氯化硅淋洗吸收四氯化硅、三氯氢硅，HCl从而将他们分离出 ...
干法回收和湿法回收的区别就是在回收分离还原尾气中介质的时候没有水的参与。从能耗和回收分离效果上来说，干法回收肯定优于湿法回收。

发表于 2009-2-15 09:18:16

现在都是用干法回收，湿法回收是最开始的时候用的，氯硅烷用水淋洗变成了二氧化硅白色粉末和盐酸，还需要做处理，既浪费又污染环境。当然也不排除为了某种目的只要多晶产品而采取湿法回收处理尾气的做法。就现在的干法回收也可以又一些相应的改进和优化，可以动动脑就想想办法。

发表于 2009-2-15 13:55:02

改良西门子法的标志就是采用干法回收吧，这样做可以充分实现气体组分的再利用。用水吸收的貌似是第一、二代西门子法的工艺

发表于 2009-2-15 21:02:07

湿法回收效率低，副产品盐酸品质低；而干法回收中的HCL可进行再利用，且整个装置的效率相对较高，操作也简单

发表于 2009-2-24 11:24:20

发表于 2009-2-24 13:47:40

原帖由 cytq 于 2008-11-4 08:41 发表

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我做的一个多晶硅项目尾气回收用的是干法和湿法相结合的，尾气中含有的二氯化硅和三氯化硅是用通过湿法除去的，后面氢气净化是用的活性碳吸附！
湿法指的是什么？水？怎么净化湿法后的氢气？直接通进活性碳吸附？活性碳吸附会不会因为吸附水而饱和？
二氯化硅的量很大吗？？？
三氯化硅有干法回收不了吗？？？

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