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三氯氢硅尾气处理用干法吸收好还是用吸附好?

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发表于 2012-4-13 16:03:54 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位还有:
            三氯氢硅尾气含量约三氯氢硅3.68,四氯化硅0.07,氯化氢12.59,氢气82.78,氮气3,都是体积分数,每小时约1800标立;
          要求:想使氯硅烷和氯化氢循环回到合成炉使用,氢气提纯出来去他用,纯度97%以上即可
           现在两种方法处理:
          第一种:变压吸附就不多说了,估计投资要700万左右;
          第二种:用四氯化硅在高压低温下吸收氯化氢和氯硅烷气体,然后在解析通往合成炉使用,这种投资暂时不清楚。
   请问哪一种效果好?那位朋友有关于第二种的参数可以说下么?本人不尽感谢。
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发表于 2012-4-14 13:19:41 | 显示全部楼层
你好 我可以帮你提供一些帮助 但是涉及一些东西只能邮件联系了
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发表于 2012-4-14 15:43:11 | 显示全部楼层
吸收要发生化学反应,吸附只发生物理反应。看你厂的工艺适合用哪一种了。
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发表于 2012-4-14 16:06:34 | 显示全部楼层
一般都是吸收
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