针形硅的形成原因求助

本帖最后由 yizhuxuan 于 2012-4-23 23:23 编辑
今天又出现了一炉针形硅，硅棒上长有黑色的毛刺，大约运行了20h， 请大家帮忙分析下

调  整  下  进  气  流  速  与  流  量。

无定型硅产生，无非两个原因：1.硅棒温度过低，造成大量TCS分解反应；2.TCS与氢气配比不合适，氢气量太小（或者生产过程中因故障突然断氢气持续一段时间也会这样）。

看到你那个又字难道是‘正常’现象？如果这样很‘正常’就该考虑洁净问题了。