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看看这是多晶硅设备上的什么东东

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发表于 2012-6-16 17:35:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 zhangweicheng 于 2012-6-21 13:06 编辑
看看这是多晶硅设备上的什么东东?看看这是多晶硅设备上的什么东东?
抱歉,删了
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发表于 2012-6-16 21:04:26 | 显示全部楼层
应该是石墨夹头吧。。。楼主明示。。。。。!
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发表于 2012-6-16 21:33:54 | 显示全部楼层
第一张图应该是与电极相连的石墨件(从底部的锥形可以看出)。
第二张没见过,楼下补上。
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发表于 2012-6-17 10:27:25 | 显示全部楼层
对此图,我有些分析:
1,图一中圆柱上端有个直径是4.92的圆孔,可惜没有标圆孔的高,按照2楼的说法真是硅芯夹的话,那么楼主的硅芯直径小于4.92,这么细的硅芯第一次看到,楼主节约成本的厉害啊
2,图一看到圆柱的直径是40,考虑倘若真是石墨座的话,未免偏细吧,这样在硅棒生长后期,是否可承载硅棒?
3,图一看到圆柱的高不是很高,若真是石墨座的话,对电极的隔热保护是否到位?
4,图二看到应该是个圆台环状物,但是楼主没有标出圆台的坡度,也没有标出高度,是否合适?
5,图二看环状物的内直径是20,刚好和图一的圆柱外径吻合,考虑是不是圆柱的箍子,而且看到外部有个凹槽,似乎是札绳用的,不知有无此用?
综上所述,我不认为他是个安装硅芯的石墨座,倒像是石墨加热棒的连接处,只是猜测啊,也不敢确认,因为好些点有似乎不符合石墨棒的形状啊,求楼主真解。
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发表于 2012-6-18 05:15:55 | 显示全部楼层
有点像电极那块,但应该不是吧,没见过这样的。
难道是固定还原炉用的?
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发表于 2012-6-19 11:27:12 | 显示全部楼层
石墨适配器(也叫石墨夹头)进口还原炉(GT/MSA)的设计。
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发表于 2012-6-19 12:58:49 | 显示全部楼层
这个是卡瓣,两件式的, 上面是连接电极和硅芯的石墨夹头。 下面那个是套环。 4.9的孔洞是用来放气的。不是用来插硅芯的。
我有详细的图纸。
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发表于 2012-6-19 18:28:23 | 显示全部楼层

pinguin 发表于 2012-6-19 12:58
  
这个是卡瓣,两件式的, 上面是连接电极和硅芯的石墨夹头。 下面那个是套环。 4.9的孔洞是用来放气的。不是 ...

坛友我是少见多怪喽,可是还是不解啊,哪个孔是吹气?求详解啊
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发表于 2012-6-19 12:58:00 | 显示全部楼层

pinguin 发表于 2012-6-19 12:58

                                
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这个是卡瓣,两件式的, 上面是连接电极和硅芯的石墨夹头。 下面那个是套环。 4.9的孔洞是用来放气的。不是 ...

正解。4.9的空不在卡座的正中心,里面图中的中心圆孔不是4.9的孔,这个孔应大于8。那个4.9的孔是用来排放卡座中间气体的,就是排气孔。第二张是卡环,加强卡座与电极的。
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发表于 2012-6-19 20:21:52 | 显示全部楼层
多晶硅还原炉里面的石墨夹头和石墨卡环,装在电极上的,装硅芯用。易耗品,国内200元每套左右,国外的贵些,但现在基本都转为国内的产品了,如果质量没有大问题对多晶硅的生产影响不大。
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