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关于多晶硅发黄

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发表于 2012-4-29 19:05:52 | 显示全部楼层 |阅读模式
看了论坛,大家经常说发黄的原因主要是生成了氮化物,那么请问究竟是生成了什么氮化物?什么氮化物是黄色的?
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发表于 2012-6-20 14:36:12 | 显示全部楼层
不是氮化物,是硅的一种形态。。。。。。。。。。。。。
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发表于 2012-6-21 12:13:05 | 显示全部楼层
发黄我个人认为系统铁杂质污染,还有就是系统中的露点有点问题。
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