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针型硅的产生原因

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发表于 2012-6-22 09:54:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
在生产过程中,会突然出现黑色的物质漂浮在还原炉内,然后附着在硅棒上面,拆炉后会象毛一样在上面,颜色和多晶硅一样
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 楼主| 发表于 2012-6-22 09:56:44 | 显示全部楼层
求解释,已经是第三次了,都是运行中发生的,其他的参数都很稳定,温度也是可以的,不算高
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发表于 2012-7-2 19:45:31 | 显示全部楼层
我们也出现过这种情况,求解释--------!!!
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发表于 2012-7-4 10:22:27 | 显示全部楼层
应该 是硅粉吧,进料流速太快把未来得及沉积的细微硅粉吹走,又附着到了其他部位的硅棒上,比如炉壁周围那几圈,你看看,是不是靠近喷嘴的针形硅少,远离喷嘴的针形多。
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发表于 2012-7-4 12:58:12 | 显示全部楼层
这个要控制好温度、压力和配比,特别注意DCS的含量。
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