关于还原炉喷嘴流速！

各位坛友，大家探讨一下还原炉进料气量与沉积速率的影响及喷嘴流速在什么范围较好？
先抛砖引玉：还原炉进料量大，硅棒长得快，但能耗及物耗较高，流速大小影响炉内流场和热场！

还原炉整个生产过程中，经过喷嘴的物料流速不是固定不变的，你这样问，确实不好回答。
前期物料量小，喷嘴处的物料流速低，后期物料量大，喷嘴处的物料流速高，这个变化范围是很大的。

通料量是由转化率算好的。。。然后在实际生产中稍作修改的。。。问的着实比较朦胧

反应的不同时期要做不同的调整。喷嘴考虑最大气速和最低气速时的流场

流量相同的情况下，炉内气体运动速度越快越好，但尽量保证均匀，这就是气流场优化的关键所在。