关于多晶硅项目中垫片的选型问题！

发表于 2012-8-7 19:22:04

大家所在的项目中，关于金属缠绕垫的选型有没有具体要求？除了温度，压力这些基本参数之外。
比如还原工序中，还原炉的进气和尾气管线所使用的垫片是什么型号？
我们之前选的都是金属缠绕石墨的，但是垫片中缠绕石墨是不是会对产品质量造成影响，使产品碳含量偏高呢？
各位所在的项目中有没有关于这方面的考虑？希望有专家不吝赐教~

发表于 2012-8-7 20:32:24

卡盘不就石墨的么。。。不过我们也用金属垫。。。

发表于 2012-8-8 08:31:30

石墨垫子应该不会影响尾气碳含量吧，要那样，石墨座早就不能用啦

发表于 2012-9-20 13:34:48

cju_1020 发表于 2012-8-7 20:32

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卡盘不就石墨的么。。。不过我们也用金属垫。。。
请问用什么金属垫片？

发表于 2012-8-7 20:32:00

应该没有影响，石墨能耐高温，氢化炉的电极不就是石墨的吗？要说有影响这个大多了

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