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多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统

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发表于 2012-9-28 13:48:11 | 显示全部楼层 |阅读模式
从三氯氢硅合成反应器出来的混合气体经冷凝到-5度后进入闪蒸罐,闪蒸罐的操作压力和温度怎么设定呢? 谢谢
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发表于 2012-9-29 07:55:25 | 显示全部楼层
呵呵,这个可以用模拟软件模拟下,假定需要闪蒸到什么程度
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