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硅烷

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发表于 2012-10-23 08:54:15 | 显示全部楼层 |阅读模式
硅烷法生产多晶硅前景怎么样,现在多晶硅的发展趋势往哪个方向走啊???
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发表于 2012-10-23 14:14:23 | 显示全部楼层
硅烷流化床!!!!!!!!!!
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发表于 2012-10-23 14:26:38 | 显示全部楼层
前景很好 啊
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发表于 2012-10-23 15:11:17 | 显示全部楼层
依我看硅烷法绝对不会是最终极的晶硅工艺
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 楼主| 发表于 2012-10-23 15:33:44 | 显示全部楼层

Minos 发表于 2012-10-23 15:11

                                
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依我看硅烷法绝对不会是最终极的晶硅工艺

现在流行冷氢化,硅烷和冷氢化比哪个好啊
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发表于 2012-10-23 15:11:00 | 显示全部楼层

sanzizi 发表于 2012-10-23 15:33

                                
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现在流行冷氢化,硅烷和冷氢化比哪个好啊

不是一个概念的东西...............冷氢化不过是一道工序而已
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发表于 2012-10-23 15:49:20 | 显示全部楼层
长期硅烷流化床和三氯氢硅流化床并行。原因是硅烷流化床工艺1987年就发展了,同时那个时期碳化硅、氮化硅材料、石墨材料发展迅猛,要是能完全取代,早就取代了。
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发表于 2012-10-23 15:33:00 | 显示全部楼层
硅烷法重点在于安全性
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