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生产一吨多晶硅需要多少三氯氢硅?

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发表于 2012-11-25 16:15:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
在生产多晶硅的过程中,生产一吨多晶硅需要三氯氢硅多少吨?副产多少四氯化硅啊?
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发表于 2012-11-25 18:03:10 | 显示全部楼层
SiHCl3+H2=Si+3HCl,摩尔比是1:1,如果TCS转化率是100%的话,1t Si需要4.8tTCS,但是不可能100%,所以喽,转化率如果是30%的话,就用4.8除以0.3,就可以啦,至于没转化成Si的,就转化成STC和DCS啦。。会算了么?
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 楼主| 发表于 2012-11-25 19:20:32 | 显示全部楼层

风雨无晴 发表于 2012-11-25 18:03

                                
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SiHCl3+H2=Si+3HCl,摩尔比是1:1,如果TCS转化率是100%的话,1t Si需要4.8tTCS,但是不可能100%,所以喽,转 ...

谢谢!会算了。另,再请教一下:听说产一吨多晶硅,副产的四氯化硅是20T。这是怎么计算的啊?
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发表于 2012-11-25 18:03:00 | 显示全部楼层
30%也是高的,过去实践经验是20吨
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发表于 2012-11-26 07:49:26 | 显示全部楼层
按本公司目前生产的情况,从尾气中HCl的含量反推,实际发生SiHCl3+H2=Si+3HCl 这个反应的三氯氢硅并不多,
主反应是:4SiHCl3=3SiCl4+Si+2H2,也就是冷氢化的逆反应,副产品四氯化硅也主要来源于此,
按此计算,生产一吨多晶硅需要的三氯氢硅比例差不多是17~20:1,
还原工段是副产氢气而不是消耗氢气的,进料里的氢气主要是起载气的作用。
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 楼主| 发表于 2012-11-26 08:56:24 | 显示全部楼层

gushuang1031 发表于 2012-11-26 08:56

                                
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按本公司目前生产的情况,从尾气中HCl的含量反推,实际发生SiHCl3+H2=Si+3HCl 这个反应的三氯氢硅并不多,
...

谢谢你的解答
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