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还原炉进料量

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发表于 2013-1-28 09:36:35 | 显示全部楼层 |阅读模式
还原炉进料量的大小是不是和硅棒表面积有关?如有关系,是什么样的关系?
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 楼主| 发表于 2013-1-28 15:29:03 | 显示全部楼层
ding!!!!!!!!!!!!!
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发表于 2013-1-28 16:25:01 | 显示全部楼层
对,跟硅芯表面积有关,是呈现递增趋势!
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 楼主| 发表于 2013-1-28 17:20:29 | 显示全部楼层
进料量是硅棒表面积的几倍?
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发表于 2013-1-28 17:34:03 | 显示全部楼层
学习的,请高手指点迷津!
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发表于 2013-1-29 22:47:36 | 显示全部楼层
与表面积的确正相关,但是不能只考虑表面积。
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发表于 2013-1-31 07:50:01 | 显示全部楼层
得考虑表面积,沉积速率,热场变化等等因素以及你的工艺配套能力
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