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AlCl3 在氯硅烷中是以何种形式存在的

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发表于 2010-2-8 14:54:44 | 显示全部楼层 |阅读模式
AlCl3 在氯硅烷中是以何种形式存在的?常温密封保存的AlCl3是固体,露空极易潮解
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发表于 2010-2-8 15:29:09 | 显示全部楼层
黏着状,容易堵塞管道
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发表于 2010-2-8 17:18:51 | 显示全部楼层
一般在多晶硅合成部门就出去一大部分了,因为合成管道有伴热,所以都是以气体存在的,遇到冷凝器由于量很少就混在SIL中,时间长了是有点附在管道内壁。。
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 楼主| 发表于 2010-2-9 10:59:54 | 显示全部楼层
我想知道常温下和100-150度间 它在氯硅烷中溶解度   请前辈们指点
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发表于 2010-2-9 19:56:01 | 显示全部楼层
温度高的时候是气态形式吧,如果温度降低的时候就会冷却下来附着在管道上,造成管道的堵塞。
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发表于 2010-2-22 10:57:25 | 显示全部楼层
应该是白色悬浮物,象二氧化硅。
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发表于 2010-3-13 18:02:42 | 显示全部楼层
应该注意气态氯化铝凝华时的温度,堵塞管道是肯定的,关键是堵塞在哪个位置,当发生堵塞时是否还能保证合成工序的连续运行
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发表于 2013-5-3 15:56:32 | 显示全部楼层

fubao2008 发表于 2010-2-9 10:59

                                
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我想知道常温下和100-150度间 它在氯硅烷中溶解度   请前辈们指点

我也想知道,不知您有数据了么现在?!
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