求多晶硅装置中静设备失效实例及原因！欢迎经验谈！重谢！

大家的多晶硅装置中静设备出现过哪些失效模式呢？腐蚀、开裂、材料劣化什么的。求案例！

这样的案例主要集中在过物料的静设备。如果走尾气管道的夹套管出现内套管焊缝漏水，或者在拆炉后炉底盘上尾气口不慎入水，会首先腐蚀管道的焊缝，然后导致夹套水渗入物料管线内，从而导致水解物富集管道、汽化器壳程。当然这些水解物也会严重影响到产品的生产。以上案例确实发生过，准确的说，它导致氢化炉的四台汽化器被堵、相应管道被割掉而重新焊接，好在没有发生爆炸、物料泄漏等恶性生产事故

最近又在做多晶硅的腐蚀失效分析，请大家不吝赐教！

1、氢化氯硅烷汽化器蒸汽列管内漏，导致水蒸汽混入物料内生产水解物，导致后续设备管道堵塞，尾气管道大面积腐蚀透，被迫停车后续发现尾气缓冲罐腐蚀严重致使报废。2、冷氢化合成反应器上部旋粉分离器运行中发现进气切线发现被硅粉磨透，导致停车。硅粉输送管道弯头常被磨透。3、三废金属设备被氯硅烷洗涤液大面积腐蚀透不能正常运行。